جزوه تئوری و تکنولوژی ساخت قطعات نیمه هادی دکتر فتحی پور استاد برجسته دانشگاه تهران 568 صفحه در قالب PDF فهرست مطالب: فصل اول : معرفی و تاریخچه فصل دوم : تکنولوژی VLSI سیلیکن فصل سوم : رشد بلور ، ساخت قرص و خواص اساسی قرص های سیلیسیمی فصل چهارم : اتاق تمیز ، تمیز کردن قرص و جذب فصل پنجم : نقش و نگار نوری فصل ششم : اکسیداسیون گرمایی فصل هفتم : نفوذ ...